发明专利 横向均布载荷下预应力圆薄膜弹性能的确定方法(企业 芯片加工、薄膜制造、环膜制造、应用于传感器、仪器仪表)(特价) 专利号:2016108021448 专利类型 发明专利 申请号 2016108021448 申请年份 2016 专利状态 已下证可转让 领域:机械工程、薄膜力学、实验设备、弹性测试、科研设备、力学分析、信息技术、算法计算、材料工艺、薄膜性能