发明专利 一种亚波长光栅偏振器及制备方法 专利号：2017105627056 专利类型 发明专利 申请号 2017105627056 申请年份 2017 专利状态 已下证可转让 领域：亚波长光学器件 光栅偏振元件 光电集成电路配件 光纤通信光学元件 微纳光学元件 CMOS兼容光学芯片
