发明专利 气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法 专利号：2018100591052 专利类型 发明专利 申请号 2018100591052 申请年份 2018 专利状态 已下证可转让 领域：化工生产 气相沉积技术 真空气相沉积一体化 氧化亚硅制备 SiOx材料 锂离子电池负极材料 新能源材料
