发明专利 一种表面等离激元波导可调谐光滤波器(高校 集成光学器件? 光通信)(特价) 专利号:2018102930450 专利类型 发明专利 申请号 2018102930450 申请年份 2018 专利状态 已下证可转让 领域:光通信、光子学、光学器件、可调滤波器、激光技术、光传感、光学工程