发明专利 一种新型光纤F-P腔传感器件的制备方法 专利号:2018107844432 专利类型 发明专利 申请号 2018107844432 申请年份 2018 专利状态 已下证可转让 领域:光纤 光纤传感器件 通讯 通信 光缆 电缆 互联网 网络 法布里珀罗干涉微腔、飞秒激光直写、三维精密位移定位、阳极真空键合、无胶全石英封装、腔长纳米级调控、多参量同步传感、耐高温光纤传感芯片、批量微纳制备