发明专利

一种基于SOI晶片的可调光栅滤波器及制备方法

专利号：201811433756X

专利类型

发明专利

申请号

201811433756X

申请年份

2018

专利状态

已下证可转让

领域：滤波器 SOI晶片光刻光子调控器件微光电器件集成硅基半导体光信号耦合电子元器件

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