发明专利 槽体自动开关盖机构及其工作方式(半导体湿式制程设备配件 开槽 开关设备 芯片 集成电路 电路板 pcb板) 专利号:2019103053770 专利类型 发明专利 申请号 2019103053770 申请年份 2019 专利状态 已下证可转让 领域:【电动工具 半导体湿式制程设备配件 开槽 开关设备 芯片 集成电路 电路板 pcb板】