发明专利 集成有多端口光波导的低维材料异质结光电探测器 专利号:2020100551334 专利类型 发明专利 申请号 2020100551334 申请年份 2020 专利状态 已下证可转让 领域:半导体、硅光芯片、多端口光波导、低维材料、异质结、光电探测器、光电子集成、光通信、光电转换、载流子传输、光耦合、传感、衬底