发明专利 一种硅片清洗装置及利用该装置进行清洗的清洗方法 专利号：2020103442273 专利类型 发明专利 申请号 2020103442273 申请年份 2020 专利状态 已下证可转让 领域：太阳能发电硅片清洗方法、太阳能硅片生产加工、太阳能光伏发电硅片制造、光伏硅片
