发明专利 一种气浮轴承的振动偏移检测装置 专利号:2020110079481 专利类型 发明专利 申请号 2020110079481 申请年份 2020 专利状态 已下证可转让 领域:轴承制造 气浮轴承检测 气浮轴承振动偏移检测 轴承动态性能监测 精密机械部件