发明专利 一种调整组件和机台 专利号：2020110225967 专利类型 发明专利 申请号 2020110225967 申请年份 2020 专利状态 已下证可转让 领域：半导体制程、半导体芯片、芯片制造、晶圆加工、光刻、集成电路
