发明专利 一种基于多级柔性放大的压电微电机及其驱动方法（微机电 压电材料 微电子 压电片 电动机 电机） 专利号：2021103056418 专利类型 发明专利 申请号 2021103056418 申请年份 2021 专利状态 已下证可转让 领域：【微机电 压电材料 微电子 压电片 电动机 电机】
