发明专利 一种压电执行器的非对称迟滞、蠕变模型及其逆补偿方法 专利号：2021109183690 专利类型 发明专利 申请号 2021109183690 申请年份 2021 专利状态 已下证可转让 领域：（压电执行器、精密设备、显微镜、超声电机、压电微夹持器、蠕变）
