发明专利 一种用于半导体材料的制备设备 专利号：2021113306585 专利类型 发明专利 申请号 2021113306585 申请年份 2021 专利状态 已下证可转让 领域：半导体加工 半导体材料 半导体镀膜 镀膜设备 制备设备 集成电路 消费电子 通信系统 光伏发电 照明 大功率电源转换 电子 半导体行业
