发明专利 一种元素半导体的加工设备及其工艺 专利号：2022116248533 专利类型 发明专利 申请号 2022116248533 申请年份 2022 专利状态 已下证可转让 领域：半导体材料加工、晶圆/衬底制备、第三代半导体、半导体器件、晶圆加工、硅/碳化硅/金刚石等元素半导体加工
