实用新型 一种应用于洁净室的压差平衡装置 专利号:2022201917662 专利类型 实用新型 申请号 2022201917662 申请年份 2022 专利状态 已下证可转让 领域:【平衡装置 洁净室 精密机械工业 半导体 】