发明专利 一种半导体元件加工设备 专利号:2023107525813 专利类型 发明专利 申请号 2023107525813 申请年份 2023 专利状态 已下证可转让 领域:电路板 半导体 芯片 集成电路 PCB板电子元器件,电力集成电路 电子元器件 芯片制造