实用新型 一种防打火保护组件 专利号：202321354253X 专利类型 实用新型 申请号 202321354253X 申请年份 2023 专利状态 已下证可转让 领域：防打火保护组件 靶材 平面靶材 磁控溅射 真空磁控溅射 镀膜 薄膜沉积 屏蔽罩 靶背板 钨合金 半导体 电子制造 光
