发明专利 一种硅基集成曝光量测量器件 专利号：2017107437253 专利类型 发明专利 申请号 2017107437253 申请年份 2017 专利状态 已下证可转让 领域：半导体制造 光电子器件 光学检测 硅基光电探测器 硅基集成传感器 光电传感器 曝光量测量器件 光电转换
