发明专利 一种质量厚度为700-1400μg/cm2自支撑锗薄膜及其制备方法 专利号：2018109333592 专利类型 发明专利 申请号 2018109333592 申请年份 2018 专利状态 已下证可转让 领域：材料科学 薄膜制备 自支撑锗薄膜 氧化铝缓冲薄膜 无衬底薄膜
