发明专利 一种质量厚度为700-1000μg/cm2自支撑锡薄膜及其制备方法 专利号:2018109333978 专利类型 发明专利 申请号 2018109333978 申请年份 2018 专利状态 已下证可转让 领域:材料科学 薄膜制备 自支撑锡薄膜 氧化铝缓冲薄膜 无衬底薄膜