发明专利 一种微纳牛级力计量器的制造方法 专利号：2021106653567 专利类型 发明专利 申请号 2021106653567 申请年份 2021 专利状态 已下证可转让 领域：激光飞秒工艺 工业微纳制造 高精密加工 材料科学与工程 微纳制造 纳米材料 微流控芯片 半导体 集成电路 芯片制备
